Литература по обробке и иследовании полупроводников

[Montresor]

Подскажите пожалуйта, в каких книгах можна найти описание следующих процесов, очень нужно:
1. Резка, шлифовка, полировка кристаллов
2. Создание контактов термическим напылением в вакууме
3. Создание контактов методом фотолитографии
4. Проверка омичности и адгезии контактов
5. Определение типа проводимости в полупроводниковых материалов методом термозонда
6. Методы измерения эффекта Холла

[Himera]

назовите тему информативно, пожалуйста

[antabu]

Значится так, захожу сюда http://techlibrary.ru/bookpage.htm и начинаю искать на странице разные ключевые слова. Нашёл правда старую книжку Брук В.А., Гаршенин В.В., Курносов А.И. Производство полупроводниковых приборов. 1963.djvu